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电子行业对无尘车间的请求
更新时候:2021.01.26   来历:无锡一净污染装备无限公司   浏览次数:

电子行业对无尘车间的请求:无尘车间也叫干净厂房、干净室、无尘室,电子工场出产工艺分类浩繁,有集成电路出产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平南显现器出产(分为LCD,PDP,TFT,VFD,显像管),硅资料 出产(单晶硅、多晶硅),光纤出产,制卡业,外表贴装(SMT),分手器件出产(功率一、二、三级管,电容、电阻),零件组装出产(机顶盒、数字投影仪、电子数码相机),自控元器件出产(传感器、履行机构)等。

因为出产工艺品种单一,对干净度品级请求也差别,高的很高,低的很低;对粒籽粒径节制的请求也差别,规模约为0.1~5um;对温湿度节制的请求绝对较 高,如集成电路前道工序普通请求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),绝对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值请求的梯度级别,跟着干净度的变更而从高到低变更,差值5~10Pa。

电子行业无尘车间的冷负荷比其余行业的无尘车间大良多,单元冷负荷达400~500W/㎡很罕见。因为冷负荷大,普通环境下,夏季也须要供冷,这是电子行业的特色。

电子行业出产工艺进程发生的有毒无害气体品种单一,且量也大,以是须要的排风量和新风量也大。新排风的节能办法也是行业特色之一,排放前要做处置,使排风负荷环保请求。

新情势下干净室手艺的成长标的目的3.jpg

电子行业出产工艺有抗静电、抗微振的请求,并且大批气体和特种气体品种多,对纯度和干净度请求高:

1.电子制作厂万级干净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

2.电子制作厂干净室垂直流干净室满布比不应小于60%,程度单向流干净室不应小于40%,不然便是部分单向流了。

3.电子制作厂干净室与室外的静压差不应小于10Pa,差别氛围干净度的干净区与非干净区之间的静压差不应小于5Pa

4.电子制作行业万级干净室内的新颖氛围量应取以下二项中的最大值:

5.弥补室内排风量和坚持室内正压值所需的新颖氛围量之和。

6.保障供应干净室内每人每小时的新颖氛围量不小于40m³。


本文共分 1

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