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差别范例氛围流无尘室
更新时候:2020.05.04   来历:无锡一净污染装备无限公司   浏览次数:

一、乱流式(Turbulent Flow)无尘室:

氛围由空调箱经风管与无尘室内之氛围过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型活动而呈不法则之乱流或涡流状况。乱流无尘室是靠送风尚流不时浓缩室内氛围,将污染氛围逐步浓缩,来完成干净的。换气次数决议界说中的污染级别(换气次数越多,污染级别越高)。此型式合用于无尘室品级1,000-100,000级。

长处:机关简略、体系制作本钱低,无尘室之扩大比拟等闲,

在某些特别用处场合,可并用无尘任务台,进步无尘室品级。

错误谬误:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排挤,易污染制程产物。别的若体系遏制运行再激活,欲达需要之干净度,常常须耗时相称长一段时候。

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二、层流式(Laminar)无尘室:

层流式氛围气流活动成一平均之直线形,氛围由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式合用于无尘室品级需定较高之情况利用,普通其无尘室品级为Class 1~100。其型式可分为二种:

⑴程度层流式:程度式氛围自过滤器双标的目的吹出,由对边墙壁之回风体系回风,灰尘随风向排挤室外,普通在下贱侧污染较严峻。

长处:机关简略,运行后短时候内便可变成不变。

错误谬误:制作用度比乱流式高,室内空间不易扩大。

⑵垂直层流式:房间天花板完整以ULPA过滤器笼盖,氛围由上往下吹,可得较高之干净度,在制程中或任务职员所发生的灰尘可疾速排挤室外而不会影响别的任务地区。

长处:办理等闲,运行起头短时候内便可达不变状况,不易为功课状况或功课职员所影响。

错误谬误:机关用度较高,弹性应用空间坚苦,天花板之吊架相称占空间,维修改换过滤器较费事。

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三、复合式(Mixed Type)无尘室:

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可供给部分超干净之氛围。

(1) 干净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程地区或任务地区100%笼盖使干净度品级进步至10级以上,可节流装置运行用度。此型式需将功课职员之任务区与产物和机械维修予以断绝,以防止机械维修时影响了任务及品德,ULSI制程多数接纳此种型式。
         干净地道还有二项长处:A.弹性扩大等闲; B.维修装备时可在维修区等闲履行。
       (2)干净管道(Clean Tube):将产物流程颠末的主动出产线包围并污染处置,将干净度品级提至100级以上。因产物和功课员及发尘情况彼此断绝,少许之送风便可获得杰出之干净度,可节流动力,不需野生的主动化出产线为最适合利用。药品、食物业界及半导体业界均合用。
       (3)并装部分干净室(Clean Spot):将干净室品级10,000~100,000之乱流干净室内之产物制程区的干净度品级进步为10~1000级以上,觉得出产之用;干净任务台、干净任务棚、干净风柜即属此类。

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